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新竹科学园区创新一路5-1号
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传真：886-3-5777487
平面研磨机
产品型号：1 vs 5平面研磨机
产品特色
1. 自动修锐补偿功能，修锐后可自动量测砂轮直径并进行研磨位置补偿。
2. 线上自动量测功能，可进行多点量测、纪录，并自动回馈于研磨制程进行研磨补偿。
3. 水系统具备水位监控与冷却水出水流量、压力监控，以利控管研磨品质。
4. 具备自动进出料系统，并可支援工厂端AGV、RGV及自动仓储(Automated Storage)等系统。
5. 具备IN Line、多研磨单元功能，可于设备上同时完成复合研磨制程。
6. 弹性化操作介面，利于现场人员操作。
7. 可应用于IC载板、Panel fan-out 研磨。
产品规格
1.载板研磨尺寸650mm X 540mm,TTV±6μm。
2.载台规格：依被研磨物的底材不同，可选用不同的载台(STAGE)，如永电磁盘、金属真空吸盘、多孔性陶瓷吸盘….等载台。
3.重复精度：X、Y 轴：±5μm、Z 轴：±2μm。
4.自动厚度量测精度：2μm。
5.冷却水：水溶性切削液。
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