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联络信息
桃園市蘆竹區南崁路一段231巷36號
电话：+886-3-2223170
传真：+886-3-2223150
桌上型雷射直寫設備
产品型号：miDALIX DaLI
产品分类：硬板用设备 / 硬板用干制程设备 / 雷射直接成像机
产品特色
無光罩雷射直寫設備，是一種通用桌上型系統，適用於所有標準光阻的無光罩光刻。可實現最小線寬達1um及20倍高深寬比結構。其全面的軟體解決方案涵蓋了從設計到曝光的所有步驟，並使 DaLI 成為無光罩光刻工藝的直觀解決方案。 DaLI 使用AOD聲光偏轉器和穩定的的雷射源來曝光光刻結構，無需光罩。 無光罩光刻功能使設計更改變得輕而易舉，因為它消除了樣品與光罩對齊的高度敏感步驟，並在此過程中節省了時間和金錢。DaLI特別適合學術單位、研究單位及公司行號研發單位及實驗室。
产品规格
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DALI技術規格 |
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基本資訊 |
基板尺寸 |
從亞毫米到100 x 100 x 10mm |
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光學特性 |
雷射波長 |
375 or 405nm |
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雷射光束尺寸 |
1 and 3μm(軟體可選) |
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性能 |
結構長寬比 |
大於1:20 |
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直寫速度(每秒光點數) |
100,000Hz |
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結構長寬比 |
大於1:20(最多到1:40) |
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雷射直寫解析度 |
真亞奈米 |
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最小尺寸 |
<1 |
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多層對準精度 |
0.5um |
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使用者介面 |
數據輸入格式 |
DXF, BMP |
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CAD軟體 |
用於設計，對準，進階固定和曝光控制 |
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集成光學單色或彩色顯微鏡 |
用於檢查和對準 |
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技術資訊 |
運轉溫度 |
21.5 ±1.5ﾟC |
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設備尺寸 |
650 x 626 x 522 (W x D x H) |
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電力需求 |
110/230 VACA, 50/60Hz |
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運轉濕度 |
<80%, non-condensing |
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設備重量 |
77kg |
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消耗電力 |
<120 VA |
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