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8吋無光罩直接成像微影設備

 

产品型号：Raith PicoMaster XF200

产品分类：硬板用设备 / 硬板用干制程设备 / 直接成像机

 

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产品特色

 

主要特點:

- 多光束寫入策略

- 最高解析度 0.6 μm

- 0.6 μm 解析度下寫入速度高達 280 mm²/min

- 256階即時灰階微影

- 即使在具有挑戰性的基材上也能進行自動對焦

- 最大 200X200mm 直寫區域

- 無接縫直寫

 

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