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非接觸式wafer/Solar cell取放裝置

 

产品型号：ZS-Handlling LeviWafer-Gripper

产品分类：硬板用设备 / 硬板用干制程设备 / 抓取/置放设备

 

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产品特色

 

EFEM非接觸式wafer取放裝置
採用超音波懸浮技術，適用於超薄矽晶圓與玻璃基板等。

 

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