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桃园市桃园區国圣二街123号1楼
电话：+886-3-3783908
传真：+886-3-0978775699
SEM电子显微镜
产品型号：TGI-SEM
产品分类：硬板用设备 / 硬板用检测制程设备 / 光学仪器(投射设备/放大设备)
产品特色
解析度-- ≤2.5 nm
放大倍數-- 100萬倍
圖像圖元尺寸（預設）-- 512*512（視頻）2048*2048（拍照）
加速電壓-- 1-15kv連續可調
燈絲類型-- 場發射燈絲
電動樣品台-- XY二軸/XYZ三軸/XYT三軸/五軸
探測器類型-- BSE、SE、EDS
減速模式-- 選配（0-10kv樣品台電壓減速）
光學導航-- 光學導航、倉內相機
樣品倉內部尺寸-- 176mm寬*185mm長*125mm高
自動功能-- 自動亮度對比度、自動聚焦、大圖拼接
原位台拓展功能-- 具備
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