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【技術專題】如何提高硫酸-雙氧水微蝕的抗氯離子性?

 

訊息提供:TPCA 更新時間:2017/04/12

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【問】
硫酸和雙氧水作為銅的微蝕劑,槽液氯離子達到5PPM微蝕就不行了(微蝕速率很低),請問有什麼方法可以提高硫酸-雙氧水微蝕的抗氯離子性?是什麼原理?

【答】
問題中提到含氯離子問題並沒有在業界聽說這種講法。一般銅金屬微蝕作用(或者是蝕刻作用),都是利用氧化劑或氧化酸(如:硝酸、鹽酸)進行金屬氧化。接著液體會將金屬表面氧化物溶除,繼續下個微蝕循環。如此周而復始,就可以持續進行蝕刻。

微蝕與蝕刻的差異,只在蝕刻速度有差異而已,作用方式倒是相當的類似。雙氧水會幫助銅金屬氧化,而硫酸可以將氧化銅剝除讓作用持續,氯本身就具有氧化與溶解能力,因此用鹽酸可以直接咬銅,但低濃度狀況速度不會很快。

建議對各個化學品實際狀況再做檢討,有可能是因為雙氧水已經消耗而降低了蝕刻效率,應該不是氯離子問題。氯化銅蝕刻液也用類似模式,在液體中會有氯化銅、氯離子、雙氧水,只差沒有硫酸,但蝕刻速度超快,添加氯離子可能會讓反應機構變得比較複雜,但是不該發生抑制現象。

唯一有的可能是,如果液體攪拌很低,銅金屬表面又產生了不易溶解的氯化銅,這個時候可能銅金屬表面就會出現淡綠色氯化銅,同時蝕刻速率就會降低。改善方式當然就是增加攪拌流動,減少不溶解物質停留。以上供您參考。

 

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