印刷電路板電漿清潔系統
產品型號:MKII & MKIII
產品分類:硬板用設備 / 硬板用乾製程設備 / 電漿去膠渣/去殘膠機
產品特色
MK系列滿足的PCB製造商的要求,高重複性,可靠性,壽命長,維護成本低
我們可特製一個系統,包括反應離子刻蝕(RIE),以
滿足您的特定需求。大容量鋁製腔體可容納不同加工層
級如標準6或多達24層,每個層24" X 18"面積。
氧真空泵和升壓器配備有兩點清潔系統,以盡量減少真空泵內的腐蝕物質產生,
從而延長了使用壽命,降低了維護成本。處理不同電路板無論是大或小或是不
同材料如聚四氟乙烯,聚?胺,軟或硬板都有良好均勻度。
(MKIII是MKII 昇級版 有二電漿腔體)
產品規格
系統規格
電漿控制台尺寸66" X 79" X 26"
?真空泵尺寸16" X 30" X 17"
重量?配置不同
標準系統特點
6,8,12,16和24層水平貨架
每層貨架是24" X 18" 間距1 .5"
射頻產生器與自動匹配網絡1250-5000瓦@13.56M赫茲靜電屏蔽室提高均勻度
製程溫度控制125F到300 F 不需熱機
兩個流量控制器,0-2000 SCCM
低氣壓報警,包含製程和清潔氣體
MKS0-10 Torr電容真空計
微處理器控制系統搭配觸控螢幕界面
可存儲多個配方(最多3步驟)
愛德華茲氧真空泵|愛德華羅茨式增壓器鼓風機
3微米真空泵油過濾
兩點自動氮氣清潔真空泵
真空泵的排氣油霧凝聚過濾器
Windows作業系統
電腦控制系統搭配觸控螢幕界面
製程數據記錄,事件查看和輸出
信號燈塔
愛德華茲GV80乾式真空泵
MKS自動油門真空控制器
4流量控制器控制製程氣體矩陣; 5種氣體2個或3個流量控制器
控制氮氣清潔速率
客制腔體尺寸配置和電極尺寸和配置
精選產品