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新竹科學園區創新一路5-1號
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平面研磨機
產品型號:1 vs 5平面研磨機
產品特色
1. 自動修銳補償功能,修銳後可自動量測砂輪直徑並進行研磨位置補償。
2. 線上自動量測功能,可進行多點量測、紀錄,並自動回饋於研磨製程進行研磨補償。
3. 水系統具備水位監控與冷卻水出水流量、壓力監控,以利控管研磨品質。
4. 具備自動進出料系統,並可支援工廠端AGV、RGV及自動倉儲(Automated Storage)等系統。
5. 具備IN Line、多研磨單元功能,可於設備上同時完成複合研磨製程。
6. 彈性化操作介面,利於現場人員操作。
7. 可應用於IC載板、Panel fan-out 研磨。
產品規格
1.載板研磨尺寸650 mm X 540mm,TTV±6μm。
2.載台規格:依被研磨物的底材不同 ,可選用不同的載台(STAGE),如永電磁盤、金屬真空吸盤、多孔性陶瓷吸盤….等載台。
3.重複精度:X、Y 軸:±5μm、Z 軸:±2μm。
4.自動厚度量測精度:2μm。
5.冷卻水:水溶性切削液。
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