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DJ MicroLaminates - 乾膜
產品型號:SUEX/ADEX 系列
產品分類:原物料、耗材與化學品 / 軟板用原物料、耗材與化學品 / 聚醯亞胺膜
產品特色
DJ MicroLaminates 提供的產品是SUEX, SUEX Plus,以及ADEX系列的環氧樹脂負性光刻膠乾膜,厚度範圍在5微米至超過1mm內。乾膜很容易層壓在基板表面,並可在幾分鐘內預備使用。
產品規格
SUEX/SUEX Plus/ADEX幹膜光刻膠
- 總處理時間:小於5分鐘
- 卓越的厚度均勻性, 邊緣無光刻膠堆積
- 高熱穩定性-高韌性
- 無銻化學環境,無材料浪費
選擇幹膜的優勢
- 無需昂貴的勻膠和烘膠設備
- 對Fab環境要求較低
- 整片晶圓上厚度均勻
- 無需去邊工藝
- 100%平坦化(真空壓膜)
- 膠膜內部成份分布均勻
- 適合UV和X射線曝光
- 高透過率
- 生產過程中減少了溶劑使用
- 綠色環保
應用:
Plated gear after removal of SUEX Separation filter with 10μm holes
500μm pillars on separation filter 200μm MEMS honeycomb structure
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