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Bruker Dektak 探針輪廓儀
產品型號:Bruker Dektak
產品分類:零件組裝 / SMT檢測設備 / 2D/3D量測設備
產品特色
從傳統的二維表面粗糙度和臺階高度測量,到更高級的三維表面成像和薄膜應力測試,Dektak臺階儀適用面極廣,為用戶提供準確性高,重復性佳的測量結果。在教育、科研領域和半導體制程控制,Dektak廣泛用於膜厚、應力、表面粗糙度和面形的測量。近年來,在迅速成長的新能源領域(太陽能行業,LED行業),觸摸屏行業,Dektak以其優異性能被多數主要的工廠采用,作為工藝控制的必要手段。
產品規格
通過革新設計單拱龍門式設計使系統更穩定與此同時實現測量重復性達到 5 埃以下(<5Å)的業內最高水平。這壹裏程碑式的產品源自於 Dektak 系列占據業界領先地位長達四十年的優異表面測量技術。保持業界壹貫的領先優勢,首次采用的高清真彩相機提高了圖像分辨率,而 64 位數據並行處理軟件則加速了分析速度,使用戶易於使用。
• 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程
• 獨特的傳感器設計使在單壹平臺上即可實現超微力和較大的力測量
• 自對準的探針設計使用戶可以輕而易舉地更換探針
• 探針式輪廓儀的全球領導者
• 性能卓越,物超所值
• 完備的零配件為您優化或延伸機臺的多種應用提供保障
Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer.
Photograph of tip exchange on DektakXT. Tip exchange assembly makes changing tip sizes easy.
新Dektak XTL™ 手寫筆分析器提供極其精確的,可重復和可重復的測量範圍廣泛的應用。憑借其容納樣品多達350 mm x 350mm能力,這個系統終於帶來了傳說中的DEKTAK表現為200 mm和300 mm晶圓制造。
• 分析大樣本
• 編碼300 mm X / Y平臺
• 工業設計
• 集成隔離平臺
• 結合鍵盤/顯示器
• 占地面積小工作站
• 對於QA / QC優化功能
• 模式識別
• 先進的生產界面
• 門互鎖
• 本地化的GUI
• 自動準備套件SECS / GEM
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