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Kayaku KMPR 1000系列暫時性光阻
產品型號:Kayaku KMPR
產品分類:原物料、耗材與化學品 / 軟板用原物料、耗材與化學品 / 聚醯亞胺膜
產品特色
KMPR擁有高深寬比與垂直側壁等如SU-8的特性,可應用於DRIE的Etch Mask得到高深寬比的圖形,也被廣泛地應用於MEMS與生醫相關的電鍍模具,在硬烤之前可藉由NMP去除。 KMPR可使用常見的TMAH完成顯影。
產品規格
•高深寬比(>1:5)與垂直側壁
•單一塗佈可涵蓋5-100um
•可用水性顯影劑顯影(TMAH)
•優異的金屬黏附性
•優異的電鍍穩定性
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