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Kayaku PMMA & Copolymer聚合物材料
產品型號:Kayaku PMMA & Copolymer
產品分類:原物料、耗材與化學品 / 軟板用原物料、耗材與化學品 / 聚醯亞胺膜
產品特色
PMMA是一種非常適合做為微電子製程的聚合物材料。需使用電子束曝光系統,也可以用於晶圓臨時接合劑,保護層等。Copolymer光阻是基於MMA和8.5%甲基丙烯酸的混合物。Copolymer(8.5) MAA併PMMA光阻堆疊,是常用在雙層剝離工藝實現獨立CD控制。被配置在乳酸乙酯的標準Copolymer光阻,可提供寬範圍的黏度(薄膜厚度)。
產品規格
PMMA是一種非常適合做為微電子製程的聚合物材料。需使用電子束曝光系統,也可以用於晶圓臨時接合劑,保護層等。
PMMA光阻是PMMA聚合物溶解在特定的溶劑中形成特定分子量的材料,如苯甲醚,然後過濾。使用傳統曝光,直寫式曝光或X-Ray曝光使聚合物斷鍊,從而在曝光區和無曝光區域之間產生溶解度的差異,得到高解析的圖形。
• 適用於電子束曝光和X-Ray曝光
• 高解析 (<0.1μm)
• 大範圍的分子量和黏度選擇
• 顯影劑: MIBK : IPA
• 溶劑:苯甲醚 (A) 和氯苯(C)
• 應用包括電子束曝光,多層T-Gate剝除,
晶圓減薄等
Copolymer光阻是基於MMA和8.5%甲基丙烯酸的混合物。Copolymer(8.5) MAA併PMMA光阻堆疊,是常用在雙層剝離工藝實現獨立CD控制。被配置在乳酸乙酯的標準Copolymer光阻,可提供寬範圍的黏度(薄膜厚度)。
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