內層兩面同時自動曝光機
產品型號:ADEX1300P
產品特色
●搭載10kW高輸出功率之散亂光。針對只需低曝光量的乾膜產品時,亦可切換照度之輸出功率對應。
●260片/小時(4.4片/分)以上之高生產性。
●採用可高速且穩定實現底片與基板密著之U-Contact真空密著方式。確實抑制解析不良狀況。
●搭載Job change guidance功能及Auto photomask placement功能。並大幅提升基板段取性。
精選產品
產品型號:ADEX1300P
●搭載10kW高輸出功率之散亂光。針對只需低曝光量的乾膜產品時,亦可切換照度之輸出功率對應。
●260片/小時(4.4片/分)以上之高生產性。
●採用可高速且穩定實現底片與基板密著之U-Contact真空密著方式。確實抑制解析不良狀況。
●搭載Job change guidance功能及Auto photomask placement功能。並大幅提升基板段取性。