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SONIC CORPORATION 超音波液體微流量計

 

產品型號：μLF-300 系列

產品分類：自動化智能化專區 / 硬體 / 硬體

 

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產品特色

 

用於半導體製造過程中的微小流量控制，例如IPA，純水，化學溶液

● 可測量從0 mL / min微流量液體
● 通過超音波信號處理高精度測量微小流量
● 感測器與藥液為非接觸式結構
● 廣泛的可調性

 

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