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新北市林口區文化二路一段266號18樓之2
電話:886-2-26096982
傳真:886-2-26085026
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產品型號:ADEX5300M series
產品分類:硬板用設備 / 硬板用乾製程設備 / 曝光機
●分割曝光數:1、2、3、4、6分割對應●解析對應:L/S-30/30um SRO=ψ50um●對位精度:±3um
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