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聯絡資訊
桃園市蘆竹區南崁路一段231巷36號
電話：+886-3-2223170
傳真：+886-3-2223150
8吋無光罩直接成像微影設備
產品型號：Raith PicoMaster XF200
產品特色
主要特點:
- 多光束寫入策略
- 最高解析度 0.6 μm
- 0.6 μm 解析度下寫入速度高達 280 mm2/min
- 256階即時灰階微影
- 即使在具有挑戰性的基材上也能進行自動對焦
- 最大 200X200mm 直寫區域
- 無接縫直寫
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