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聯絡資訊
桃園市蘆竹區南崁路一段231巷36號
電話：+886-3-2223170
傳真：+886-3-2223150
3D飛秒雷射加工機
產品型號：Femtika Laser Nanofactory
產品特色
FEMTIKA 是多光子聚合(Multiphoton polymerization) 和選擇性雷射蝕刻(Selective laser etching) 領域先進雷射技術解決方案的領先供應商。 我們的尖端技術可在微電子、醫療設備和航空航天工程等眾多行業中實現精確、高效的加工。
目標是滿足全球範圍內對可用工具和技術不斷增長的需求，從而實現微米級和亞微米級定制設計組件的真正 3D 雷射製造。 Femtika 提供的微結構用於半導體、光子學、醫療、汽車、航天工業等未來新產品的開發。
我們的設備“Laser Nanofactory”是一款用戶友善的產品，具有簡單易用的界面，也允許高端用戶利用飛秒雷射加工提供的所有功能。 系統的所有參數均由提供的專有軟件 3DPoli 控制。 因此，從一種製造模式更改為另一種製造模式只需在軟件中設置參數並更改聚焦光學器件即可。 此外，系統具有高度可調性，可以添加額外的功能。 這使我們能夠滿足最高需求的客戶。
Femtika 飛秒雷射加工機適用於各式材料的3D加工應用於微光學元件，包含菲涅耳透鏡、光纖微透鏡及橢圓菱鏡，可實現複雜高精度的形狀滿足客戶對高品質要求。
產品規格
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Laser Nanofactory技術規格 |
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技術 |
多光子聚合 |
選擇性 雷射蝕刻 |
混合製造 |
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雷射源 |
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飛秒 雷射 |
波長 |
780nm |
1030±10nm 515±10nm |
1030±10nm |
1030±10nm and 515±10nm |
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重複率 |
100MHz |
11 MHz ... 76 MHz |
Single-shot – 1 MHz |
Single-shot – 1 MHz |
Single-shot – 1 MHz |
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脈寬 |
<100 fs |
50 fs 120 fs 170 fs |
290 fs – 20 ps (tunable) |
250 fs (450 fs) – 10 ps (tunable) |
190 fs – 10 ps (tunable) |
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最大平均功率 |
250mW |
2 W |
5 W |
10 W |
from 5 W to 20 W* |
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長期功率穩定性 |
< 0.5% RMS over 24 h |
< 0.5% RMS over 100 h |
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定位 |
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帶同步檢流計 掃描儀的線性 平台 |
XYZ定位平台安裝在帶橋接的花崗岩底座上 |
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加工範圍(XYZ) |
160 x 160 x 60mm |
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精度(XYZ) |
±300nm |
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解析度(XYZ) |
1nm |
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最大速度(XY) |
200mm/s |
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振境掃描器 |
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精度 |
50μrad |
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|
重複精度 |
0.4 μrad RMS |
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