電漿去膠渣機
產品型號:PD06
產品分類:硬板用設備 / 硬板用乾製程設備 / 電漿去膠渣/去殘膠機
產品特色
產品功能
可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
產品特色
桌上型設計,占地面積小,不占空間
設備適用於學校、實驗室、醫療院所與電子廠之研發單位元
設備成本與研發成本低
設備操作容易,動作方式簡單易懂
專利設計之特殊電漿電極
高密度電漿源
處理速度快、清潔效率高、可靠度高
可控制低的離子能量、不損傷基板
結合化學反應性及物理撞擊性
處理均勻性佳
設備可移除氧化物與硫化物
可使用多種製程氣體
設備穩定高,容易維護
可依客戶需求作更改
應用產業
LCM、 IC 封裝 ( Flip Chip, CSP, BGA, Lead Frame, etc. )、LED 封裝、SMT、 PCB、 FPC、光電元件、電子元件、封裝貼合前清潔
印刷或黏著前之表面粗化或清潔
產品規格
項目 |
PD06 |
機台尺寸 |
2000(W)*2100(D)*2626(H)mm |
腔體尺寸 |
1100(W)*1480(D)*1220(H)mm |
腔體材質 |
不鏽鋼體+鋁腔體門 |
電極 |
水冷電極 |
處理能力 |
PCB:28片(20"*24"),可移動式夾具 |
電源供應器 |
10KWatts |
流量計 |
標準四顆 (N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆 |
壓力計 |
760~10-3 torr |
真空幫浦 |
幹式幫浦+魯式幫浦 |
冰水機 |
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溫度監測系統 |
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台車 |
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